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【国家标准】 半导体单晶晶向测定方法

本网站 发布时间： 2024-03-01
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标准简介标准简介

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适用范围：

本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。
本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。

读者对象：

半导体生产、检测和使用单位相关人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 1555-2009

  • 标准名称：

    半导体单晶晶向测定方法

  • 英文名称：

    Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2009-10-30

  • 实施日期：

    2010-06-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H80

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    11 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    杨旭、何兰英

  • 起草单位：

    峨嵋半导体材料厂

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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