【国家标准】微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则

本网站发布时间： 2017-05-10

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标准简介

暂无

标准号：
GB/T 26113-2010e
标准名称：
微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则
英文名称：
Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准状态：
现行
发布日期：
2011-01-10
实施日期：
2011-10-01
出版语种：
英文

起草人：
起草单位：
归口单位：
SAC/TC 336 the National Standardization Committee of Micro-electromechanical System Technology
提出部门：
SAC/TC 336 the National Standardization Committee of Micro-electromechanical System Technology
发布部门：
General Administration of Quality Supervision,Inspection and Quarantine of the People's Republic of China and Standardization Administration of the Pe

【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则