【国家标准】微机电系统（MEMS）技术　金属膜材料成形极限测量方法

本网站发布时间： 2024-11-26

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标准简介

本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm～300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。

标准号：
GB/T 44849-2024
标准名称：
微机电系统（MEMS）技术　金属膜材料成形极限测量方法
英文名称：
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
标准状态：
即将实施
发布日期：
2024-10-26
实施日期：
2025-05-01
出版语种：
中文简体

起草人：
曹诗亮、李根梓、马卓标、胡永刚、孙立宁、许磊、王雄伟、王学文、王春举、钱峰、张森、武斌、张红旗、张启心、汤一、陈林、王文婧
起草单位：
合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知(合肥)技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
快3网下载安装到手机、国家标准化管理委员会

【国家标准】 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法