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- GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
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适用范围：
本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
标准号：
GB/T 37466-2019
标准名称：
氮化镓激光剥离设备
英文名称：
Laser lift-off equipment used for GaN标准状态：
现行-
发布日期：
2019-06-04 -
实施日期：
2019-10-01 出版语种：
中文简体
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