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【国家标准】 表面化学分析　溅射深度剖析　用层状膜系为参考物质的优化方法

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适用范围：

为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。

读者对象：

电子光学仪器表面化学分析检验技术人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 20175-2006

  • 标准名称：

    表面化学分析　溅射深度剖析　用层状膜系为参考物质的优化方法

  • 英文名称：

    Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered system as reference materials

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2006-03-27

  • 实施日期：

    2006-11-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    N33

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    30 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东

  • 起草单位：

    清华大学电子工程系

  • 归口单位：

    全国微束标准化技术委员会

  • 提出部门：

    全国微束标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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