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【国家标准】 半导体材料术语

本网站 发布时间： 2024-11-01
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适用范围：

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。

读者对象：

半导体材料生产、使用相关人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 14264-2009

  • 标准名称：

    半导体材料术语

  • 英文名称：

    Semiconductor materials—Terms and definitions

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2009-10-30

  • 实施日期：

    2010-06-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H80

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    52 页

  • 字数：

    93 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    孙燕、黄笑容、向磊、翟富义、卢立延、郑琪、邓志杰、贺东江

  • 起草单位：

    中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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