【国家标准】微机电系统(MEMS)技术　传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

本网站发布时间： 2025-01-02

GB/T 44513-2024
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了在环境应力(温度和湿度)、机械应力和应变下，评估MEMS压电薄膜材料耐久性的试验方法，以及用于质量评估的试验条件。本文件具体描述了在温度、湿度条件和外加电压下测量被测器件耐久性的试验方法和试验条件。
本文件适用于评估MEMS压电薄膜材料的耐久性和质量，也适用于评估在硅衬底上形成的压电薄膜的正压电性能，例如用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。
本文件不包括可靠性评估，如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。

基本信息

标准号：
GB/T 44513-2024
标准名称：
微机电系统(MEMS)技术　传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
英文名称：
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
标准状态：
现行
发布日期：
2024-09-29
实施日期：
2025-01-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
31.080.99
中标分类号：
L59

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《半导体器件　微机电器件　第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
20 页
字数：
23 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
陈立国、江大白、李根梓、刘会聪、蒋礼平、刘胜、方东明、夏长奉、王冰、周维虎、许宙、钟鸣、张硕、孙旭辉、夏燕、娄亮、程新利、杨剑宏、陈志文、张中飞、胡增、商艳龙、王阳俊、高峰、卢弈鹏、袁长作、仲胜利、李海全、钱勇国
起草单位：
昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
快3网下载安装到手机、国家标准化管理委员会

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