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【国家标准】 晶片承载器传输并行接口要求

本网站 发布时间： 2024-10-30
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适用范围：

本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入/输出接口的信号定义、信号传送要求、异常处理，以及连接器和传感器的要求。
本文件适用于半导体制造领域、用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送操作。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 44631-2024

  • 标准名称：

    晶片承载器传输并行接口要求

  • 英文名称：

    Requirements for wafer carrier handoff parallel I/O interface

  • 标准状态：

    即将实施

  • 发布日期：

    2024-09-29

  • 实施日期：

    2025-04-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.260

  • 中标分类号：

    L97

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    40 页

  • 字数：

    61 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    程朝阳、田涛、赵俊莎、孙岩、曹可慰、吴怡然、李英、钟结实、张宝帅、李殿浦、蔡书义、王凯、郭训容、刘学庆、武小娟

  • 起草单位：

    北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、浙江中聚材料有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    快3网下载安装到手机 、国家标准化管理委员会
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