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- DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法
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适用范围:
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法(G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定
标准号:
DB35/T 1146-2011
标准名称:
硅材料中杂质元素含量测定辉光放电质谱法
英文名称:
标准状态:
现行-
发布日期:
2011-04-10 -
实施日期:
2011-07-10 出版语种:
- 其它标准
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