【国家标准】硅电容式压力传感器

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标准简介

本标准规定了硅电容式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。
本标准适用于硅电容式压力传感器（以下简称传感器）。

本仪器的生产、使用、维修人员

起草人：
张治国、刘沁、李颖、匡石、徐秋玲、于振毅、丁云、卢宏、刘剑、张娜、刘波、殷波
起草单位：
沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、浙江中控仪表有限公司、吉林化工集团仪表有限责任公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会
归口单位：
中国机械工业联合会
提出部门：
中国机械工业联合会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 硅电容式压力传感器