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【团体标准】 连续式光学磁控溅射镀膜设备

本网站 发布时间： 2024-12-26
  • T/GVS 017-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。

基本信息

  • 标准号：

    T/GVS 017-2024

  • 标准名称：

    连续式光学磁控溅射镀膜设备

  • 英文名称：

    Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-12-24

  • 实施日期：

    2024-12-24

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    23.160

  • 中标分类号：

    J78

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏

  • 起草单位：

    广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司

  • 归口单位：

    广东省真空学会

  • 提出部门：

    广东省真空学会

  • 发布部门：

    广东省真空学会
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