【国家标准】硅单晶中氮含量的测定　二次离子质谱法

本网站发布时间： 2023-04-03

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标准简介

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014 cm-3。注：硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。

标准号：
GB/T 42263-2022
标准名称：
硅单晶中氮含量的测定　二次离子质谱法
英文名称：
Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
标准状态：
现行
发布日期：
2022-12-30
实施日期：
2023-04-01
出版语种：
中文简体

起草人：
马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
起草单位：
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
快3网下载安装到手机、国家标准化管理委员会

【国家标准】 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法