【地方标准】电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法

本网站发布时间： 2023-11-06

DB35/T 1248-2012
现行
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标准简介

适用范围：

本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。

基本信息

标准号：
DB35/T 1248-2012
标准名称：
电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法
英文名称：
标准状态：
现行
发布日期：
2012-05-04
实施日期：
2012-08-05
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
林宇巍、陈熔、陈华、邹震、林永荣、张凤利、陈小娟、叶树海、郑江琳
起草单位：
国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）
归口单位：
福建省化学工业气体标准化技术委员会
提出部门：
发布部门：
福建省质量技术监督局

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