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- DB53/T 619-2014 气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
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适用范围:
本标准规定了气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告 本标准适用于氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)、四氯化硅(SiCl4 )含量的测定.
标准号:
DB53/T 619-2014
标准名称:
气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
英文名称:
标准状态:
废止-
发布日期:
2014-08-28 -
实施日期:
2014-12-01 出版语种:
- 推荐标准
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