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【国家标准】 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

本网站 发布时间： 2020-03-02
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适用范围：

本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 37959-2019

  • 标准名称：

    含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

  • 英文名称：

    Information model for containing process chamber IC equipment design

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2019-08-30

  • 实施日期：

    2020-03-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    35.240.50

  • 中标分类号：

    J07

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    34 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰

  • 起草单位：

    中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院

  • 归口单位：

    全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)

  • 提出部门：

    中国机械工业联合会

  • 发布部门：

    快3网下载安装到手机 、中国国家标准化管理委员会
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