【团体标准】半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

本网站发布时间： 2024-02-23

T/SSEA 0327-2023
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒（圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称，以下简称钢棒）的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸（直径、边长、厚度或对边距离，以下简称尺寸）不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒

基本信息

标准号：
T/SSEA 0327-2023
标准名称：
半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒
英文名称：
标准状态：
现行
发布日期：
2023-11-30
实施日期：
2023-11-30
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
77.140.60
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
徐涛、高虹、范铁军、林立洲、翟丽丽、肖邦国、江庆东、霍咚梅、张丰麟、吴振忠
起草单位：
安徽富凯特材有限公司、江苏武进不锈股份有限公司、浦夕特种合金(上海)有限公司、冶金工业规划研究院
归口单位：
中国特钢企业协会
提出部门：
中国特钢企业协会
发布部门：
中国特钢企业协会

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