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- GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法
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标准号:
GB/T 19444-2004
标准名称:
硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法
英文名称:
Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction标准状态:
现行-
发布日期:
2004-02-05 -
实施日期:
2004-07-01 出版语种:
中文简体
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