【国家标准】微机电系统（MEMS）技术　MEMS材料微柱压缩试验方法

本网站发布时间： 2025-02-05

GB/T 44839-2024
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了微柱压缩试验方法，用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量，且试样制造难度适中；测量试样单向压缩应力﹘应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。
试样是通过微加工技术在刚性（或高刚度）基体上制造的圆柱，其高径比（高度与直径的比值）大于3 为宜。本文件适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100 μm 微柱的测试。

基本信息

标准号：
GB/T 44839-2024
标准名称：
微机电系统（MEMS）技术　MEMS材料微柱压缩试验方法
英文名称：
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Micro-pillar compression test for MEMS materials
标准状态：
现行
发布日期：
2024-10-26
实施日期：
2025-02-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
31.080.99
中标分类号：
L59

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《半导体器件　微机电器件　第10部分:MEMS 材料微柱压缩试验方法》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
16 页
字数：
15 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、刘景全、陈立国、杨剑宏、陈志文、焦斌斌、黄庆安、聂萌、张平平、陈晓梅、卢永红、陈思、王冰、谢红梅、刘志广
起草单位：
中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、中国电子产品可靠性与环境试验研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
快3网下载安装到手机、国家标准化管理委员会

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