【国家标准】电子工业用气体　氩

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GB/T 16945-2009
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式：Ar。
相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。

读者对象：

半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

基本信息

标准号：
GB/T 16945-2009
标准名称：
电子工业用气体　氩
英文名称：
Gas for electronic industry—Argon
标准状态：
现行
发布日期：
2009-10-30
实施日期：
2010-05-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
8 页
字数：
6 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
赵俊秀、周鹏云
起草单位：
北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
提出部门：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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