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【团体标准】 膜厚监控用石英晶振片

本网站 发布时间： 2020-06-22
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适用范围：

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。

基本信息

  • 标准号：

    T/CEMIA 006-2018

  • 标准名称：

    膜厚监控用石英晶振片

  • 英文名称：

    Quartz crystal resonator for film thickness contro

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2018-12-14

  • 实施日期：

    2019-03-14

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.140

  • 中标分类号：

    L21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    18 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔

  • 起草单位：

    唐山万士和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心

  • 归口单位：

    中国电子材料行业协会

  • 提出部门：

    中国电子材料行业协会

  • 发布部门：

    中国电子材料行业协会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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