【国家标准】基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

本网站发布时间： 2020-11-02

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标准简介

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

标准号：
GB/T 38614-2020
标准名称：
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文名称：
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
标准状态：
现行
发布日期：
2020-04-28
实施日期：
2020-11-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法