【团体标准】超洁净磁悬浮泵

本网站发布时间： 2025-01-18

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标准简介

本文件规定了超洁净磁悬浮泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

起草人：
胡亮、苏芮、傅新、杨军、张翼飞、方泽华、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、杨江龙、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、徐洪魁、李春华、付华
起草单位：
浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、青岛国林半导体技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会
归口单位：
中国机械工程学会
提出部门：
中国机械工程学会
发布部门：
中国机械工程学会

【团体标准】 超洁净磁悬浮泵