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【国家标准】 确定晶片坐标系规范

本网站 发布时间： 2020-02-10
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适用范围：

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基本信息

  • 标准号：

    GB/T 16596-1996

  • 标准名称：

    确定晶片坐标系规范

  • 英文名称：

    Specification for establishing a wafer coordinate system

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    1996-11-04

  • 实施日期：

    1997-04-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    6 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    吴福立

  • 起草单位：

    中国有色金属工业总公司标准计量研究所

  • 归口单位：

    中国有色金属工业总公司标准计量研究所

  • 提出部门：

    中国有色金属工业总公司

  • 发布部门：

    国家技术监督局
  • 其它标准
  • 推荐标准

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