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【国家标准】 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

本网站 发布时间： 2016-01-04
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适用范围：

本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 31472-2015

  • 标准名称：

    X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

  • 英文名称：

    Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2015-05-15

  • 实施日期：

    2016-01-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    17.220.20

  • 中标分类号：

    N26

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    26 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔

  • 起草单位：

    信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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