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【国家标准】 硅基MEMS制造技术　体硅压阻加工工艺规范

本网站 发布时间： 2017-03-02
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适用范围：

本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 32815-2016

  • 标准名称：

    硅基MEMS制造技术　体硅压阻加工工艺规范

  • 英文名称：

    Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2016-08-29

  • 实施日期：

    2017-03-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

    L55

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    28 页

  • 字数：

    42 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩

  • 起草单位：

    北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司

  • 归口单位：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 提出部门：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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