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【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术　微机械量评定总则

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适用范围：

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

读者对象：

从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用的科研技术人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 26112-2010

  • 标准名称：

    微机电系统(MEMS)技术　微机械量评定总则

  • 英文名称：

    Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2011-01-10

  • 实施日期：

    2011-10-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

    L55

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    19 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥

  • 起草单位：

    天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院

  • 归口单位：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 提出部门：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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