【国家标准】微机电系统(MEMS)技术　基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

本网站发布时间： 2018-05-02

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标准简介

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

标准号：
GB/T 34899-2017
标准名称：
微机电系统(MEMS)技术　基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
英文名称：
Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
标准状态：
现行
发布日期：
2017-11-01
实施日期：
2018-05-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法