【国家标准】半导体器件　微机电器件　MEMS总规范

本网站发布时间： 2017-03-02

GB/T 32817-2016
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件［如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（MicroTAS）和微能源MEMS］。

基本信息

标准号：
GB/T 32817-2016
标准名称：
半导体器件　微机电器件　MEMS总规范
英文名称：
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
标准状态：
现行
发布日期：
2016-08-29
实施日期：
2017-03-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
31.080.99
中标分类号：
L55

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《半导体器件　微机电器件　第4部分：MEMS总规范》 MOD 修改采用

出版信息

页数：
24 页
字数：
34 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲
起草单位：
中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
归口单位：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出部门：
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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