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- DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅
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适用范围:
本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅