【国家标准】半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

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标准简介

2.1　本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。

从事半导体设备的研发、定义、测量、制造、使用等科研技术人员。

标准号：
GB/T 24468-2009
标准名称：
半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
英文名称：
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
标准状态：
现行
发布日期：
2009-10-15
实施日期：
2009-12-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范