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【国家标准】 蓝宝石单晶位错密度测量方法

本网站 发布时间： 2017-12-01
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适用范围：

本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。
本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2～100 000个/cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 33763-2017

  • 标准名称：

    蓝宝石单晶位错密度测量方法

  • 英文名称：

    Test method for dislocation density of sapphire single crystal

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2017-05-31

  • 实施日期：

    2017-12-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040

  • 中标分类号：

    H25

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    10 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    薛抗美、黄修康、杭寅、尹继刚、田野、张永波、张毅

  • 起草单位：

    江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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