【国家标准】俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

本网站发布时间： 2016-01-04

GB/T 31470-2015
现行
定价：29元 / 折扣价： 25 元
加购物车
在线阅读

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

文前页下载

适用范围：

本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：入射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

基本信息

标准号：
GB/T 31470-2015
标准名称：
俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文名称：
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
标准状态：
现行
发布日期：
2015-05-15
实施日期：
2016-01-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
17.220.20
中标分类号：
N26

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
18 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
起草单位：
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

其它标准

上一篇： GB/T 3147-2006 信息处理未穿孔纸带
下一篇： GB/T 31471-2015 印制电路用金属箔通用规范

推荐标准

【国家标准】 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则