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【国家标准】 碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

本网站 发布时间： 2024-11-01
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适用范围：

本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 44538-2024

  • 标准名称：

    碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

  • 英文名称：

    Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

  • 标准状态：

    即将实施

  • 发布日期：

    2024-09-29

  • 实施日期：

    2025-04-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    25.220.99

  • 中标分类号：

    A29

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》 MOD 修改采用

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    15 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺

  • 起草单位：

    中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司

  • 归口单位：

    全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57)

  • 提出部门：

    中国机械工业联合会

  • 发布部门：

    快3网下载安装到手机 、国家标准化管理委员会
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