【国家标准】真空技术　溅射离子泵　性能参数的测量

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GB/T 25755-2010
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注：本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。

读者对象：

机械行业技术人员及部门。

基本信息

标准号：
GB/T 25755-2010
标准名称：
真空技术　溅射离子泵　性能参数的测量
英文名称：
Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
标准状态：
现行
发布日期：
2010-12-23
实施日期：
2011-10-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
23.160
中标分类号：
J78

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
16 页
字数：
19 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影
起草单位：
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
提出部门：
中国机械工业联合会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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