【国家标准】蓝宝石晶体缺陷图谱

本网站发布时间： 2018-07-02

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标准简介

本标准规定了蓝宝石晶体缺陷的术语和定义、形貌特征及产生原因。
本标准适用于蓝宝石单晶材料制备中各种缺陷的检验和分析。

起草人：
徐民、杭寅、潘世烈、张方方、赵兴俭、韦建、贺东江、吴成荣、蔡金荣、徐永亮、丁晓民、王笃祥、李国平、赵松彬、杨素心
起草单位：
中国科学院上海光学精密机械研究所、上海大恒光学精密机械有限公司、中国科学院新疆理化技术研究所、新疆紫晶光电技术有限公司、有色金属技术经济研究院、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、苏州恒嘉晶体材料有限公司、江苏吉星新材料有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、天津三安光电有限公司、江西东海蓝玉光电科技有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 蓝宝石晶体缺陷图谱