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【国家标准】 电子工业用气体　三氯化硼

本网站 发布时间： 2022-05-05
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适用范围：

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3。
相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。

读者对象：

石油、石化行业从事标准、技术、管理人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 17874-2010

  • 标准名称：

    电子工业用气体　三氯化硼

  • 英文名称：

    Gases for electronic industry-Boron trichloride

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2011-01-14

  • 实施日期：

    2011-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    11 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云

  • 起草单位：

    西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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