【国家标准】电子工业用气体　磷化氢

本网站发布时间：

GB/T 14851-2009
现行
定价：29元 / 折扣价： 25 元
加购物车
在线阅读

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

文前页下载

适用范围：

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：PH3。
相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

读者对象：

半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

基本信息

标准号：
GB/T 14851-2009
标准名称：
电子工业用气体　磷化氢
英文名称：
Gas for electronic industry—Phosphine
标准状态：
现行
发布日期：
2009-10-30
实施日期：
2010-05-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
12 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
周泽义、孙福楠、周鹏云
起草单位：
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

其它标准

上一篇： GB/T 14851-1993 电子工业用气体　磷化氢
下一篇： GB/T 14852-1993 气体中微量氧的测定　黄磷发光法

推荐标准

【国家标准】 电子工业用气体 磷化氢