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【团体标准】 原子层镀膜设备

本网站 发布时间: 2025-01-17
  • T/CASME 1828-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围:

本文件适用于原子层镀膜设备。

基本信息

  • 标准号:

    T/CASME 1828-2024

  • 标准名称:

    原子层镀膜设备

  • 英文名称:

    Atomic layer deposition equipment
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2024-12-20
  • 实施日期:

    2024-12-30
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    25-010
  • 中标分类号:

    J70

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    石磊、刘生忠、丁黎明、阮泽云、谢东、李世彬、刘亚峰、邓士锋、袁世豪、鲁林峰、魏展画、王明华、严克友、徐征、马昌期、骆群、杜敏永、肖作、曹越先、左传天、赵长海、张文君、谢立强、田成波、杨甫、许桂英、陈熙宁、陈德明、臧志刚、胡芹、尹海鹏、唐群委、王华昕、赵双易、陈坤、孙阳、段加龙、赵媛媛、吕键、梁素霞、安文珍、尧辉龙、梁磊、马显、陈雅琪、李云飞、郭靖、何春流
  • 起草单位:

    杭州众能光电科技有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、国家纳米科学中心、福莱特玻璃集团股份有限公司、杭州柯能新能源有限公司、浙江制能科技有限公司、苏州尚柔新能源有限公司、成都电子科技大学、东方日升新能源股份有限公司、上海安普态新能源有限公司、华侨大学、杭州炬晟光能科技有限公司、华南理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、重庆大学、中国科学技术大学、晶澳(扬州)太阳能科技有限公司、山东科技大学
  • 归口单位:

    中国中小商业企业协会
  • 提出部门:

    中国中小商业企业协会
  • 发布部门:

    中国中小商业企业协会
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