【国家标准】蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

本网站发布时间： 2025-02-05

GB/T 34504-2017
被代替
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。

基本信息

标准号：
GB/T 34504-2017
标准名称：
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
英文名称：
Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
标准状态：
被代替
发布日期：
2017-10-14
实施日期：
2018-05-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
77.040
中标分类号：
H17

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
16 页
字数：
22 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰
起草单位：
天通控股股份有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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