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【国家标准】 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

本网站 发布时间： 2019-02-12
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适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 36053-2018

  • 标准名称：

    X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

  • 英文名称：

    Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2018-03-15

  • 实施日期：

    2019-02-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    G04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    32 页

  • 字数：

    54 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平

  • 起草单位：

    中国计量科学研究院

  • 归口单位：

    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 提出部门：

    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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