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T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范 现行 发布日期 :  2024-08-02 实施日期 :  2024-08-02

本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。

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T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备 现行 发布日期 :  2024-12-24 实施日期 :  2024-12-24

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。

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T/GVS 013-2024 红外测温滤光片 现行 发布日期 :  2024-04-22 实施日期 :  2024-04-22

本文件规定了红外测温滤光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于红外测温滤光片的生产、检验和销售。

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T/GVS 015-2024 远程等离子体源的解离率测试方法 现行 发布日期 :  2024-10-10 实施日期 :  2024-10-10

本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中,通入气流量60SLM、功率40kW以内远程等离子体源的解离率测试。

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T/GVS 016-2024 机器视觉岗位职业技能等级规范 现行 发布日期 :  2024-11-05 实施日期 :  2024-11-05

本文件规定了机器视觉岗位职业技能等级规范的术语和定义、适用院校专业、面向职业岗位(群)、职业技能要求。本文件适用于机器视觉岗位从业人员的技能培训、考核与评价。相关用人单位对机器视觉岗位从业人员的聘用、培训与考核可参考执行。

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