本规范规定了E3800A型飞安级直流微电流表的使用方法和操作步骤，及配套软件的本地和远程控制配置方法。

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本方法适用于推力大小在（0.5~1000）mN范围内的可用三丝扭摆推力测量装置测试的电推进推力的测量。

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本标准适用于电子仪器行业中，检测漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范围内的行波管、速调管、光电器件、陀螺仪、功率开关器件等电子器件产品。

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1.1主题内容本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。1.2适用范围本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s。

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本方法规定了频谱仪远程检定流程、检定条件、检定项目及检定方法、计量流程等内容。本方法适用于Keysight公司EXA、MXA、PXA系列、罗德与施瓦茨公司FSV系列范围内的频谱仪设备远程检定。

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本方法规定了示波器远程检定的相关内容，包括示波器的远程检定项内容、远程检定流程等。本方法适用于Keysight公司DSO系列、Tektronix公司TDS系列范围内的示波器设备远程检定。

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本规范适用于电推进离子能量分布测量装置的校准，对其他类型的离子能量分布测量装置可参照本规范。

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本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查。

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4概述4.1原理GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。4.2构造GAM500气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。图1GAM500气体分析仪原理图4.3用途GAM500气体分析仪可在大气环境下对充入He、Kr或CF4等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。5计量特性最小可检漏率6校准条件6.1环境条件a)环境温度：23℃±5℃；b)相对湿度：≤80%；c)周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。6.2校准用气体纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。6.3校准用设备校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1校准用仪器设备及性能要求序号仪器设备名称技术要求1电容薄膜真空计测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。；2小孔流导元件测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s最大允许误差：±10%7校准项目最小可检漏率。8校准方法8.1校准原理GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为：?Q=pC(1)式中：Q——标准气体微流量，Pa?m3/s；p——小孔流导元件的入口压力，Pa；C——小孔流导元件的流导值，m3/s。将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量值与其在GAM500气体分析仪上对应的示值实现校准。GAM500气体分析仪的校准原理图见图2。1—气体微流量计（虚线框内的部分），2—高纯气体，3、5、9—阀门，4—抽气系统，6—真空室，7—压力计，8—限流元件。图2GAM500气体分析仪校准原理图8.2校准步骤8.2.1校准前准备a)将气体微流量计通过阀门9和GAM500气体分析仪连接。b)启动GAM500气体分析仪，稳定1h以上，使其处于正常工作状态；c)启动抽气系统4，打开阀门5、3和9，将真空室及连接管路抽至本底。8.2.2校准步骤a)关闭阀门9，测量并记录GAM500气体分析仪的本底示值和噪声，和均取一段时间内的平均值，测量时间应大于等于1min；b)打开阀门9，调节气体微流量计，向GAM500气体分析仪输入特定的示漏气体流量（一般在（1×10-8～1×10-9）Pa?m3/s之间），待GAM500气体分析仪的示值稳定后，记录其示值。c)重复上述步骤，测量n组数据（n≥6）。8.2.3数据处理单次测得的被校准GAM500气体分析仪的最小可检漏率按公式（2）计算：（2）式中：—第次测量的GAM500气体分析仪的最小可检漏率，Pa?m3/s；—第次GAM500气体分析仪的噪声，Pa?m3/s；—第次GAM500气体分析仪的示值，Pa?m3/s；—第次GAM500气体分析仪的本底，Pa?m3/s；—标准流量值，Pa?m3/s。GAM500气体分析仪最小可检漏率的算术平均值由公式（3）计算，作为GAM500气体分析仪最小可检漏率的校准值：（3）式中：—被校准GAM500气体分析仪的平均最小可检漏率，Pa?m3/s；—测量次数。9校准结果表达经校准的GAM500气体分析仪，应给出最小可检漏率值及其相对扩展不确定度。原始记录内页格式参见附录B，校准证书内页格式参见附录C。10复校时间间隔GAM500气体分析仪的复校时间间隔一般不超过12个月。

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本测试方法适用于基于北斗卫星导航系统（BDS）和超宽带（UWB）技术的室内外融合定位可穿戴设备的技术要求、性能指标以及相关的测试方法。适用于各类基于BDS/UWB融合定位技术的可穿戴设备在不同环境下的定位性能测试与评价。

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本方法规定了信号源远程检定的相关内容，包括远程检定项内容、远程检定流程等。本方法适用于Keysight公司EXG、MXG、PSG系列信号源设备远程检定。

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本规范适用于测量范围±200fA~±20mA的飞安级直流微电流表的校准。

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本文件规定了基于BDS/UWB的室内外融合定位系统技术要求及测试方法。本文件适用于基于BDS/UWB的室内外融合定位系统的研制、生产、检测和应用。

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本标准规定了核电厂室内外定位设备的架构、主要功能、技术指标以及测试方法等方面的要求。本标准适用于核电厂室内外定位设备的建设，火力发电厂、地下矿井等需要人员定位服务的工程可参照本标准执行。

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